Imec produz nanoporos ultra-pequenos e uniformes usando litografia EUV, avançando biossensores para genômica e medicina. Imec mass-produces ultra-small, uniform nanopores using EUV lithography, advancing biosensors for genomics and medicine.

A Imec alcançou a primeira produção em escala de bolachas de nanoporos de estado sólido usando litografia EUV em bolachas de silício de 300 mm, permitindo a produção em massa de nanoporos altamente uniformes, tão pequenos quanto 10 nanômetros com potencial para tamanhos abaixo de 5nm. Imec has achieved the first wafer-scale production of solid-state nanopores using EUV lithography on 300mm silicon wafers, enabling mass production of highly uniform nanopores as small as 10 nanometers with potential for sizes below 5nm. O processo compatível com CMOS supera os desafios de escalabilidade e variabilidade do passado, produzindo uma relação sinal-ruído de 6,2, indicando um forte desempenho para detectar translocações moleculares. The CMOS-compatible process overcomes past scalability and variability challenges, yielding a signal-to-noise ratio of 6.2, indicating strong performance for detecting molecular translocations. Este avanço abre caminho para matrizes de biossensor de alto rendimento com aplicações em genômica, diagnóstico, medicina personalizada e armazenamento de dados moleculares, transformando a tecnologia nanopore de pesquisa de laboratório para uso prático em larga escala. This breakthrough paves the way for high-throughput biosensor arrays with applications in genomics, diagnostics, personalized medicine, and molecular data storage, transforming nanopore technology from lab research to practical, large-scale use.